中文名称:硅烷
中文别名:甲硅烷
CAS No:7803-62-5
EINECS号：232-263-4
分子式:H4Si
沸点:-112℃
闪光点:<-50
密度:1.114
外观无色
用途:1.电子工业用作氮化硅、外延材料等的摻杂源。半导体超纯硅原料,是半导体工业中单晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等化学气相沉积工艺的硅源,并广泛用于太阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维及特种玻璃等的生产研制。
安全说明:S9;S16;S33;S36/37/39
危险品运输编号：UN 2203